超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备，来源于广东腾胜真空技术工程有限公司独立完成的自选科技项目。
     应用领域和技术原理：超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备是一种连续式生产设备；其产品2L-FCCL柔性超薄覆铜板广泛应用于手机、数码相机、数码摄像机、笔记本电脑等便携式电子设备、平板电视、穿戴型电子产品、办公自动化设备、汽车电子、仪器仪表、医疗器械、航空航天、军工等领域。 装备原理是：由真空室、卷绕系统、镀膜系统以及抽真空机组组成。是运用以远红外线IR进行基材高温加热，以等离子体进行基材表面轰击处理，然后真空PVD沉积Cu层。生产流程是通过卷带式（Reel-to-Reel ）自动化生产作业及特殊膜层增厚系统将铜层增厚，可生产出的2μm、5μm、8μm等铜箔厚度的单、双面软板基材。
     与国内外同类技术比较：超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备，是2L-FCCL超薄无胶挠性覆铜板的连续式生产设备，国外开发研制起步较早，随着科学技术的发展，近年来，各国又在设备上设计、制造方面，不断地向大型化、高速化、精密化和智能控制方向发展。目前国外生产柔性超薄覆铜板成套装备主要集中在几个工业化国家，著名厂家有德国莱宝公司、英国通用公司和日本东洋金属公司等，尽管他们各厂家提供的设备在功能、水平、价格、服务等方面有所不同，而且竞争激烈，但他们的产品毕竟代表了当今的世界水平。我们研发的超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备各项技术性能指标居国内领先水平，其稳定性、自动化、新工艺物化程度、设备精细化、智能控制等方面得到了很大的提升，价格为国外同类产品价格的1/3，基本性能指标与国外同类产品接近，性价比良好。可以预测柔性超薄覆铜板成套装备的研发实施将大大推动我国在电子、光学、表面功能薄膜、薄膜发光材料等许多方面的应用，实现“国产化替代进口”。
     同类产品的技术性能指标的对比：
     设备产品性能指标                                国内类似型号装备产品                         项目装备产品
     耐热性                                                Tg 300                                            Tg 400～500
     铜箔厚度均匀性                                      ≤±10%                                          ≤±5%
     无胶制程产品铜箔厚度                         ≥8μm或有胶制程                                 1～10μm
     膜层剥离强度                                      ≤0.7Kgf/cm）                                      ≥1Kgf/cm
     产成品合格率                                       ≤95%                                              ≥98%
     本项目申请与获得的专利：

     序号      专利类别         专利名称                                                                        专利号
     1          发明专利          电子束辅助等离子溅镀挠性覆铜板的设备                          201610497682.0
     2           发明专利         增强型磁控溅射卷绕镀膜设备及方法                                201610490965.2
     3           发明专利         一种低温沉积磁控溅射镀膜装置及方法                             201610494891.X
     4           发明专利         一种带品质智能检测系统的真空镀膜设备                         201610495742.5
     5        实用新型专利     电子束辅助等离子溅镀挠性覆铜板的设备                          201620670169.2
     6        实用新型专利     增强型磁控溅射卷绕镀膜设备                                          201620669304.1
     7       实用新型专利      一种低温沉积磁控溅射镀膜装置                                      201620666812.4
     8       实用新型专利      一种带品质智能检测系统的真空镀膜设备                         201620667912.9

     本项目经广东省科学技术情报研究所查新，查新结论为：广东腾胜真空技术工程有限公司开展的“PVD溅镀2L-FCCL柔性超薄覆铜板成套装备”在前述检索中未见国内有其他相同技术特点的文献报道。
     直接经济效益：通过对该项目的成功实施，可实现年增加产值2500.00万元的收入，新增利税375.00万元，经济效益显著。
     社会意义：PVD法制备的超薄无胶挠性覆铜板是未来光电子产品（如智能电子产品、高密度集成电路等）发展中所必需的核心材料，但目前国内FPC企业原材料之一的PVD法柔性覆铜板长期依赖国外进口，国外生产企业从装备到相关技术上对国内企业进行封锁，国内在装备技术上的落后，无法实现PVD法柔性覆铜板的国内自给能力；下游产业不得不高价订购国外的高端覆铜板，导致成本高、产业发展受到明显制约。项目研制的PVD沉积2L-FCCL装备及制程工艺，成功地掌握了PVD法超薄无胶挠性覆铜板真空镀膜设备制造技术及生产工艺，经验技术成熟，可快速进行市场化、产业化，彻底打破PVD法柔性覆铜板供应链的落后局面。